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產品簡介：
HYFS4001微氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控製而設計的。這一係列傳感器均采用本美國流量傳感芯片來製作，適用於各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用於各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
產品特點：
- 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩定度高
- 全量程高穩定性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數：
| 性能參數 |
HYFS4001 |
單位 |
| 通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
| 大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
ml/min |
| 量程比 |
≥100:1 |
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| 精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
| 重複性 |
0.25 |
%讀數 |
| 零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
| 輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
| 響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
| 工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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| 輸出方式 |
線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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| 大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
| 大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
| 工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
| 存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
| 工作濕度 |
<95%RH（無結冰、無凝露） |
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| 機械接口 |
可拆式軟管接頭 |
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| 校準方式 |
空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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| 重量 |
15 |
g |
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